講演情報

[513]Znに対するTiN膜の耐凝着性におけるショットブラストの影響

*後 裕介1、田中 一平2、原田 泰典3、南馬 祐二4、荻巣 高志5 (1. ウメトク、2. 兵庫県立大、3. 兵庫県立大、4. ウメトク、5. ウメトク)