講演情報

10:00 〜 10:20

[514]CH4濃度変調プラズマにより作製したダイヤモンド膜の機械的特性

*田中一平¹、大西亮多²、原田泰典³ (1. 兵庫県立大、2. 兵庫県立大・院、3. 兵庫県立大)