EUV光源

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[C03-21p-V-02] 高効率EUV光源実験ためのCO₂レーザー増幅特性

*東原 望¹、空本 龍弥¹、佐藤 稜馬¹、矢澤 隼斗¹、森田 大樹¹、砂原 淳²、難波 愼一³、東口 武史¹ (1. 宇都宮大学、2. パデュー大学、3. 広島大学)