一般社団法人レーザー学会学術講演会第45回年次大会
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セッション詳細

C: 高強度・高エネルギー レーザー応用口頭講演

EUV光源

2025年1月21日(火) 14:30 〜 15:30
第V会場（B2F ラン1）
座長：安部 勇輝
14:30 〜 15:00

[C03-21p-V-01]【招待講演】レーザー生成プラズマEUV光源を用いたマスクパターン検査装置

*林田 慧太朗1、上田 明1、権平 皓1、西澤 正泰1、宮井 博基1 (1. レーザーテック（株）)
15:00 〜 15:15

[C03-21p-V-02]高効率EUV光源実験ためのCO2レーザー増幅特性

*東原 望1、空本 龍弥1、佐藤 稜馬1、矢澤 隼斗1、森田 大樹1、砂原 淳2、難波 愼一3、東口 武史1 (1. 宇都宮大学、2. パデュー大学、3. 広島大学)
15:15 〜 15:30

[C03-21p-V-03]斜め入射によるEUV光源の高効率化

*矢澤 隼斗1、山本 隼也1、森田 大樹1、大橋 隼人2、難波 愼一3、東口 武史1 (1. 宇都宮大学、2. 富山大学、3. 広島大学)
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