講演情報

[D01-21a-I-03]【招待講演】半導体デバイス製造におけるレーザープロセシングの現状と未来

*池上 浩1、中村 大輔2、片山 慶太2、菊地 俊文2 (1. 高知工科大学 総合研究所 、2. 九州大学 大学院システム情報科学研究院)