Invited session 1

10:30 AM - 11:00 AM JST(1:30 AM - 2:00 AM UTC)

[D01-21a-I-03] 【招待講演】半導体デバイス製造におけるレーザープロセシングの現状と未来

*Hiroshi Ikenoue¹, Daisuke Nakamura², Keita Katayama², Toshifumi Kikuchi² (1. Kochi University of Technology, 2. Kyushu University)