講演情報

[D9-23a-I-01]フェムト秒軟X線パルスのマルチビーム干渉を用いたガラスの深穴加工

*ヂン タンフン1、石野 雅彦1、坂上 和之2、東口 武史3、久保田 雄也4、大和田 成起5、犬伏 雄一5、錦野 将元1 (1. 量研関西光量子研、2. 東大、3. 宇都宮大工、4. 理研-SACLA、5. JASRI)

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