[D9-23a-I] プロセスモニタリング・加工デバイス応用

11:00 〜 11:15

[D9-23a-I-02] フェムト秒レーザーによるガラス内部および表面の超音波発生と光干渉計測

*小松 宗太郎¹、早崎 芳夫¹ (1. 宇都宮大学オプティクス教育研究センター)

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