D: レーザープロセシング

[P01-22p-P-16] 【優秀ポスター発表賞応募演題】FIB-TOF-SIMS分析のためのフェムト秒パルスレーザーを用いた断面加工前処理法

*石野 司¹、佐野 武志²、坂本 哲夫^1,2 (1. 工学院大学電気電子工学専攻、2. 工学院大学応用物理学科)