[D05-14a-VI] 微細加工Ⅰ

9:45 〜 10:00

[D05-14a-VI-04] 【論文発表賞応募演題】レーザー加工によるシリコン光検出器の作製

*野口 雅貴¹、菅谷 幸太¹、高橋 敬¹、古根村 友哉¹、矢野 慎之助¹、藤本 靖¹、伊藤 功²、小林 洋平² (1. 千葉工業大学、2. 東大物性研)