セッション詳細
[D05-14a-VI]微細加工Ⅰ
2026年1月14日(水) 9:00 〜 10:30
第VI会場(B5会議室)
座長:早崎 芳夫(宇都宮大学)
[D05-14a-VI-01]Nd:YAGレーザーの低エネルギーロングパルスを用いた切断技術の開発
*辻 剛志1、武石 卓大1、太田 元基 1、中村 大輔2 (1. 島根大総理工、2. 九大院工)
[D05-14a-VI-02]【論文発表賞応募演題】強化ガラスの傾斜角度をつけたレーザーダイシング法の開発
*中島 遼太郎1,2、道根 百合奈1,2、米田 仁紀1,2 (1. 電気通信大学、2. レーザー新世代研究センター)
[D05-14a-VI-03]【論文発表賞応募演題】ナノ秒レーザー誘起気泡を用いたmicroFLIBによるPDMS基板内部への3次元光導波路作製
*羽原 拓哉1、鶴谷 卓海1、山田 壮平1、花田 修賢1 (1. 弘前大学)
[D05-14a-VI-04]【論文発表賞応募演題】レーザー加工によるシリコン光検出器の作製
*野口 雅貴1、菅谷 幸太1、高橋 敬1、古根村 友哉1、矢野 慎之助1、藤本 靖1、伊藤 功2、小林 洋平2 (1. 千葉工業大学、2. 東大物性研)
