[P01-15p-P] D: レーザープロセシング

[P01-15p-P-17] 高効率レジスト剥離のためのレーザー照射条件の改善

*村上 友祐¹、森下 沙夢²、朝田 悠太¹、榎本 匠斗¹、黒崎 元哉²、安國 良平²、吉村 政志³、堀邊 英夫⁴、神村 共住^2,3 (1. 大阪工業大学、2. 大阪工業大学大学院工学研究科、3. 大阪大学レーザー科学研究所、4. 大阪公立大学大学院工学研究科)