半導体・エレクトロニクスデバイスを支える材料と成形技術

12:00 〜 12:20

[B-108] 半導体製造装置用フッ素樹脂小径チューブのレーザ溶着

*小柳 洋¹、佐藤 公俊² (1. LAWPコンソーシアム、2. 国士舘大学)

キーワード：

フッ素樹脂、半導体製造装置、レーザ溶着

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