[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

16:00 〜 16:15

[C-3_C-4-37] Pt/WO₃-SiO₂膜を有するシリコン微小リング共振器光学式水素ガスセンサーの高感度化

〇佐藤 歩¹、衛藤 雄大¹、岡崎 慎司²、西島 喜明^2,3、荒川 太郎^2,3 (1. 横浜国大 大学院 理工学府、2. 横浜国大　工学研究院、3. 半導体・量子集積エレクトロニクス研究センター)

キーワード：

水素ガスセンサー