[PS] Poster Session III

2:45 PM - 3:45 PM JST(5:45 AM - 6:45 AM UTC)

[P-07] Development of LSI design teaching materials and experimental instruction using photolithography for training semiconductor engineers in technical colleges

○Mari Kasashima¹, Hitoe Habuchi¹, Tamio Iida¹, Eiji Shiraki¹, Reina Hioki², Asahi Kato³ (1. National Institute of Technology, Gifu College, 2. National Institute of Technology, Gifu College , 3. National Institute of Technology, Gifu College)

Keywords:

Technical Colleges,Semiconductor,Education

本研究では高専における実践的な半導体人材育成を目的に、LSI設計教材とフォトリソによる回折光学素子の実験の導入に向けた検討・準備を行った。設計と作製に関する内容を体系的に学習させ、半導体への理解向上を図る。