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[D11-23p-I-03]ベクトル偏光と位相制御を用いたSiCの超短パルスレーザーアブレーション加工について

*Naoya Matsumoto1, Haruyasu Ito1, Shinichiro Okihara2, Katsuhiro Ishii2 (1. Hamamatsu Photonics K.K., 2. The Graduate School for Creation of New Photonics Industries)