Presentation Information
[3203]Recovery of Fluorine Resources from Semiconductor Mixed-Acid Wastewater by Complexation-Controlled Electrodialysis
○Takuto Miyashita1, Hisayoshi Matsushima1, Mikito Ueda1 (1. Hokkaido University)
Chairperson: 佐々木 秀顕（愛媛大学）
Keywords:
Fluorine resource recovery,Semiconductor mixed-acid wastewater,Electrodialysis,Complexation control
フッ素は、冷媒、フッ素樹脂、電池材料、金属製錬などに利用される重要な資源である。特に半導体産業では、エッチング剤や洗浄剤として高純度フッ酸が不可欠であり、製造工程において多量のフッ素含有廃水が発生する。しかし、この半導体廃水は沈殿処理により廃棄物として処理され、フッ素資源としてリサイクルされることはほとんどない。その要因として、半導体製造工程でフッ酸は、硝酸、硫酸、リン酸などの酸と併用されることが多く、廃水が多成分の混酸系となる点が挙げられる。そこで本研究では、Al³⁺を導入することでフッ素錯体種を制御し、電気透析を用いたフッ素の選択分離・回収を試みた。模擬廃水を対象として実証試験を行うとともに、平衡計算に基づいて分離挙動を考察した。本発表では、これらの結果について報告する。