講演情報

[1J12]有機スズ化合物の放射線化学

*福 翔太朗1、橋本 康平1、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2 (1. 阪大産研、2. 東洋合成工業)

キーワード:

放射線化学、有機スズ、ガンマラジオリシス、EUVレジスト

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