[1J09-13] ビーム利用1

15:30 〜 15:45

[1J12] 有機スズ化合物の放射線化学

*福 翔太朗¹、橋本 康平¹、室屋 裕佐¹、古澤 孝弘¹、町田 康平²、榎本 智至² (1. 阪大産研、2. 東洋合成工業)

キーワード：

放射線化学、有機スズ、ガンマラジオリシス、EUVレジスト

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