[[PA]-2am] 02. 理論化学・情報化学・計算化学

10:00 〜 11:30日本語

[[PA]-2am-03] 半導体洗浄装置への利用に向けたマルチタスク機械学習モデルによる樹脂耐薬性の予測

○山家 暢¹、國枝 省吾¹、仲村 武瑠¹、塙 洋祐¹、上島 仁²、新谷 俊了²、三田村 拓磨²、林 慶浩³、吉田 亮³ (1. 株式会社SCREENホールディングス、2. 株式会社システム計画研究所、3. 統計数理研究所)

キーワード：

樹脂材料、有機溶媒、耐薬性、機械学習