講演情報

[[PB]-3am-91]四塩化テルルと環状エーテル類との開環付加反応を用いた含テルルポリマーの合成とそれらのレジスト材料への応用

○田口 綾祐1、工藤 宏人1 (1. 関大院理工)

キーワード:

有機-無機ハイブリッドポリマー、テルル、レジスト材料、開環重付加反応