[2S1012-17] セッション３（一般講演，学生講演）

13:00 〜 13:15

[S10_2_12] 光電気反応を利用したAlGaN/GaN構造のウェットエッチングとナノスケール制御

〇塩澤 直生¹、勝又 十勝¹、岡野 陽樹¹、佐藤 威友¹ (1. 北海道大学量子集積センター)