[2S1012-17] セッション３（一般講演，学生講演）

13:45 〜 14:00

[S10_2_15] 薄膜パターンを用いたp型シリコンの金属援用エッチング
―Pt, Ag, Pt/Ag二層膜によるエッチング挙動の違い―

〇仲山 拓真¹、松本 歩¹、八重 真治¹ (1. 兵庫県立大学)