講演情報

14:00 〜 14:15

[S19_3_03(学生講演)]Ti密着層を用いた固相析出法によるMLGパターンの形成と電気特性

〇西村巧¹、柏木悠太郎²、上野和良^1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学工学部)