[C-11] シリコン材料・デバイス

11:30 〜 11:45

[C-11-01] SOI-MOSFETの重イオン照射誘起電流における支持基板の影響

○新垣 雅斗¹、高橋 芳浩¹ (1. 日本大学)

キーワード：

放射線照射効果、SOI-MOSFET、重イオン照射誘起電流