2024年電子情報通信学会総合大会
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講演情報

14:00 〜 14:15

[C-6-02](111)配向させたTaN膜上のCu膜の配向評価

○佐藤 勝1、武山 真弓1 (1. 北見工業大学)
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キーワード：

配線

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