[C-10] 電子デバイス

10:45 〜 11:00

[C-10-02] （依頼講演）AlGaN/GaNヘテロ構造に対するコンタクトレス光電気化学エッチングの制御と応用

〇沖 勇吾¹、塩澤 直生¹、勝又 十勝¹、富樫 拓也¹、佐藤 威友¹ (1. 北海道大学　量子集積エレクトロニクスセンター)

キーワード：

GaN、AlGaN、ヘテロ構造、光電気化学エッチング

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