講演情報
[68]イオンビーム照射によるSiCリップル構造の機械学習による形態解析
吉武 海翔1、芦浦 憲一郎2、大石 脩人3,5、*新田 紀子4、大林 一平6 (1. 高知工大(学生)、2. 高知工大(院生, 現: 東京エレクトロン)、3. 高知工大(院生)、4. 高知工大、5. 高知高専、6. 岡山大)
キーワード：
イオンビーム照射、SiC、リップル構造、機械学習、パーシステントホモロジー、Growing Neural Gas
SiCにイオンビームを照射するとスパッタリングによってリップル構造が形成される。このリップル構造の形態解析をPersistent HomologyとGrowing Neural Gasにより行った。