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[2C06-06-01]γ線摂動角相関法を用いた半導体酸化物中の不純物元素の局所構造観察

〇小松田 沙也加1、佐藤 渉1、谷口 秋洋2、大久保 嘉高2 (1. 金沢大、2. 京大複合研)