講演情報

[19a-A302-8]水溶液を用いた導電性Nb:TiO2薄膜の大気圧成膜

〇内藤 蓮人1、有賀 恵美1、牧内 楓1、簾 智仁2、中山 亮2、清水 亮太2、金子 健太郎3、佐藤 泰史4、一杉 太郎2、山田 直臣1 (1.中部大院工、2.東大院理、3.立命館大学、4.岡山理大学理)

キーワード:

TiO2,ミストCVD,透明導電膜