講演情報

[19a-A307-4]TlBr結晶の二次元キャリア輸送特性評価システムに関する検討

〇(B)須貝 優介1、長谷川 創大1、渡辺 賢一1、人見 啓太郎2、野上 光博2 (1.九大工、2.東北大工)

キーワード:

化合物半導体,臭化タリウム

TlBrの結晶性・方位とキャリア輸送特性との間の関連性を調べるため、パルスレーザーを用いて生成したキャリア移動度を飛行時間法(TOF法)で評価するシステムの検討を進めた。本システムは、レーザー照射位置をスキャンすることで、キャリア輸送特性の二次元分布を評価することが可能であり、電子線後方散乱(EBSD)で得られたTlBrの結晶方位分布と比較することが可能である。今回は、電子と正孔の移動度の測定を行った。