講演情報
[19a-A307-6][第29回放射線賞受賞記念講演] 室温動作化合物半導体放射線検出器およびイメージングデバイス
〇青木 徹1、加瀬 裕貴1、田端 健人1、西澤 潤一1、都木 克之1 (1.静岡大電子研)
キーワード：
放射線検出器,放射線イメージングデバイス,半導体
レーザードーピング法を用いたpn接合型CdTeダイオード型検出デバイスを中心に、化合物半導体材料から検出器、ASICを含む読み出し回路、CTシステムや高次情報抽出エネルギー弁別イメージングなどの研究を進めてきた。素材となるCdTeは熱処理が困難であるため一般の半導体プロセスが難しく、パルスレーザーを用いた極短時間アニールによるレーザードーピングを研究開発することで、良好な接合の形成やパターンドーピングなどを実現した。また、ナノビジョンサイエンスの概念を取り入れた、電荷デジタル変換型のフォトンカウンティング信号処理をASICで実証し、実用的なフォトン・電荷カウンティング型エネルギー弁別X線イメージングデバイスの開発を進め、CdTeばかりでなくTlBr等への展開を行った。