2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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10:30 〜 10:45

[19a-B101-2]MOVPE成長c面窒化物半導体組成の基板オフ角依存性のBCF理論及びキンク偏析モデルに基づく解析

〇望月 和浩1、太田 博1、三島 友義1 (1.法政大)
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キーワード：

半導体,偏析

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