2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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10:45 〜 11:00

[19a-B101-3]反応経路自動探索によるトリメチルガリウム分解過程の理論解析

〇杉山 佳奈美1、草場 彰2 (1.京大院工、2.九大応力研)
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キーワード：

窒化ガリウム,理論解析

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