講演情報
[19p-A302-15]SnO2及びSnO-SnO2ヘテロ接合ガスセンサを用いた半導体式CO2センサの陽子線耐性の検討
〇前田 拓人1、杉山 睦1,2 (1.東理大 創域理工、2.東理大 総研)
キーワード：
ガスセンサ,陽子線,酸化錫
本研究では、宇宙用ガスセンサの材料として、陽子線耐性の高い酸化物半導体である酸化スズ(SnO2)に着目した。しかしながら、宇宙空間での使用に向けて、SnO2を用いた半導体式ガスセンサの陽子線照射に関する報告例は少ない。そこで本研究ではSnO2及びSnO-SnO2ヘテロ接合で形成されるCO2センサに陽子線照射を行い、陽子線照射がガス感度等に与える影響を検討した。