講演情報
[19p-B101-4]反射 PhC 搭載 232nm UVC-LEDにおける 3.9倍の高効率化の実現
〇鹿嶋 行雄1、松浦 恵里子1、篠原 秀敏2、上村 隆一郎3、長田 大和3、福田 真之3、長野 丞4、大神 裕之5、祝迫 恭5、川原 実6、山田 雅人6、平山 秀樹1 (1.理研、2.芝浦機械、3.アルバック、4.大日本印刷、5.日本タングステン、6.信越化学工業)
キーワード：
232nm UVC-LED,フォトニック結晶,光取出し効率
232nm UVC-LEDのp-GaNコンタクト層にPhC（直径：139nm/周期：199nm/深さ：95nm）のホールを形成した。p-AlGaN膜厚が65nmのとき、If=100mAで出力2.17mW、EQE0.4%が得られた。この結果はPhC無しの性能と比較すると3.9倍の高効率化改善である。