講演情報

[19p-B101-9]飽和蒸気圧水でAlxGa1-xNを処理することにより形成された変質層の解析

〇松原 衣里1、近藤 涼輔1、西林 到真1、山田 凌矢1、井本 圭紀1、服部 光希1、岩山 章1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、小林 信太郎3、山本 泰司3、三宅 秀人2 (1.名城大学理工、2.三重大・院・工、3.(株)リガク)

キーワード:

AlGaN,XRD,UV-B