講演情報
[19p-B201-7]シリコン結晶中の低濃度炭素の測定 第二世代(26) 1013/cm3人工試料の1012/cm3差の赤外測定
〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
キーワード：
シリコン結晶,炭素濃度,赤外吸収
1014/cm3台下半以下の濃度測定のため第二世代赤外吸収法を開発している。濃度の分った1013/㎝3以下の参照試料の作成、妨害フォノン吸収の同定、消去のための差吸収とベースライン処理などである。1014/㎝3付近の試料の1013/㎝3の差と、1013/㎝3付近の人工試料の1012/cm3の差の測定例を示す。エクセルテンプレートを先進シリコンメーカーと作成しウェブ上でダウンロード可能としている。