2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)15 結晶工学：15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19p-B201-1~7]15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2023年9月19日(火) 13:30 〜 15:15
B201 (市民会館)
鳥越 和尚(SUMCO)、 神山 栄治(GWJ)
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13:30 〜 13:45

[19p-B201-1]シリコン・炭素系混合分子イオン注入エピタキシャルウェーハの水素パッシベーションによるSiO2/Si 界面準位密度低減効果の解析

〇奥山 亮輔1、門野 武1、柾田 亜由美1、鈴木 陽洋1、小林 弘治1、重松 理史1、廣瀬 諒1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)
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13:45 〜 14:00

[19p-B201-2]炭化水素分子イオン注入シリコンウェーハ表面における離散的アモルファス領域の再結晶化初期過程に関する解析

〇小林 弘治1,2、奥山 亮輔1、門野 武1、柾田 亜由美1、廣瀬 諒1、鈴木 陽洋1、古賀 祥泰1、栗田 一成1、末岡 浩治3 (1.SUMCO、2.岡山県大院情報系工、3.岡山県大情報工)
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14:00 〜 14:15

[19p-B201-3]シリコンの水素ドナーの同定(1)

〇梅田 享英1、清井 明2 (1.筑波大数物、2.三菱電機)
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14:15 〜 14:30

[19p-B201-4]シリコンの水素ドナーの同定(2)

〇梅田 享英1、清井 明2 (1.筑波大数物、2.三菱電機)
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14:30 〜 14:45

[19p-B201-5]シリコン結晶基板の品質と点欠陥 第二世代 (10) 偏析の解析、平均から局所へ

〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
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14:45 〜 15:00

[19p-B201-6]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学 第二世代 (22)窒素複合体の振動子強度

〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
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15:00 〜 15:15

[19p-B201-7]シリコン結晶中の低濃度炭素の測定 第二世代(26) 1013/cm3人工試料の1012/cm3差の赤外測定

〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府大 放射線研究センター)
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