講演情報

[19p-P01-25]原料ガスの分割供給による多層グラフェン CVD の結晶性と均一性の改善

〇増川 紘太1、上野 和良1,2 (1.芝浦工大(SIT)、2.グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード:

ナノカーボン