講演情報

[19p-P01-48]MOCVDによる単層MoS2のウェハースケールファンデルワールスエピタキシー

〇小野 佑樹1、佐久間 芳樹2、松本 貴士1 (1.TTS、2.物材研)

キーワード:

2次元材料,CVD,エピタキシー