講演情報

[19p-P01-56]異方性ウェットエッチングを利用したMoS2とWSe2の結晶方位の特定

〇堀川 尚豊1、渡邊 賢司2、谷口 尚2、星 裕介1 (1.東京都市大学、2.NIMS)

キーワード:

異方性ウェットエッチング,遷移金属ダイカルコゲナイド