講演情報
[19p-P02-3]シリカナノ粒子のイオン吸着によるナノインプリント表面充填構造形成
〇江本 顕雄1、松川 晴香2、渡邉 有希2、新井 翔2、岸本 章2 (1.徳島大pLED、2.日鉄鉱業(株))
キーワード：
ナノインプリント,ナノ微粒子,イオン吸着
今日の微細加工は、電子やイオンビームによる直接描画と、リソグラフィやナノインプリントのような構造転写の2種類に大別され、前者が硬い材料に、後者は柔らかい材料に、それぞれ適用される。もしこの関係性を打開できれば、材料・デバイスの分野に大きな変化もたらすと期待される。本研究では、イオン吸着を利用してシリカナノ微粒子をナノインプリント構造に充填することで、柔らかい材料から硬い材料に微細構造を転写する検討を行った。