[19p-P05-1~7] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-P05-5] スパッタ法により形成した酸化チタン薄膜を用いた太陽電池の開発

〇山崎 航¹、磯村 雅夫¹、金子 哲也¹ (1.東海大院工)

キーワード：

太陽電池

本研究ではRFマグネトロンスパッタにより成膜したTiO2を結晶シリコン太陽電池の電子選択層として応用することを目的としている。高効率なセルにするためには結晶シリコン太陽電池と金属電極との間でオーミック接触を作る必要があり、アニール処理による熱拡散で高不純物濃度のｐ型層を形成し、トンネル効果でオーミック接合を作る方法を採用している。今回はオーミック接触の形成に最適なアニール温度の調査を目的として検討を行った。