講演情報
[20a-A202-2]スパッタ成膜MoS2の基板上での原子分解能電子顕微鏡観察
〇(M2)武田 高志1、小野 凌2、草間 優太1、狩野 絵美1、宗田 伊理也2、若林 整2、五十嵐 信行1 (1.名古屋大、2.東工大)
キーワード：
遷移金属ダイカルコゲナイド,透過型電子顕微鏡,半導体
遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）は2 nm以降の次世代トランジスタのチャネル材料として注目されている。TMDは結晶欠陥によって物性が大きく変化するため、TMDチャネルの開発には、その結晶構造を原子分解能で実空間観察する解析技術が必要である。本研究では、透過型電子顕微鏡（TEM）を用いて、基板上に堆積したTMDをTMD/基板の積層構造のまま、平面観察を行うための薄片化手法を検討し、原子分解能観察を行った結果を報告する。