講演情報
[20a-A301-10]Ring Oscillator発振周波数のオーバーラップ容量依存性を考慮したミニマルファブSPICEモデル構築
〇浜本 毅司1、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.(株)Hundred Semiconductors)
キーワード：
半導体,SOI
ミニマルファブは多品種少量生産をターゲットとした生産システムである。このミニマルファブでのデバイス適応実績としては、MEMSデバイス、CMOSおよびそれを用いたRing Oscillatorとオペアンプなどが試作されてきた。今後は、PDK(Process Design Kit)を作成し、広範なユーザー設計に基づいた回路動作に対応すべく、MOSFETの動作精度向上、プロセスロバスト性確保に注力している。今回、PDK整備の一環として、SPICEモデル構築状況を報告する。