[20a-A301-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術 | 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2023年9月20日(水) 9:00 〜 12:00

A301 (熊本城ホール)

米谷玲皇(東大)

9:00 〜 9:15

〇根本一正¹、谷島孝²、三浦典子²、佐藤和重²、原史朗^1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)

9:15 〜 9:30

〇谷島孝¹、藤田龍哉³、根本一正²、居村史人³、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.ハンドレッドセミコン)

9:30 〜 9:45

〇野田周一¹、薮田勇気³、山本直子³、亀井龍一郎³、原史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)

9:45 〜 10:00

〇加瀬雅¹、原史朗^1,2,3 (1.産総研、2.ミニマル、3.Hundred Semiconductors)

10:00 〜 10:15

〇田中宏幸¹、徳永博司²、野沢善幸³、速水利泰³、佐藤和重^4,5、原史朗^1,5 (1.産総研、2.MTC、3.SPPテクノロジーズ、4.坂口電熱、5.ミニマル推進機構)

10:30 〜 10:45

〇佐藤和重^1,2、千葉貴史^1,2、寺田昌男^1,2、濱田健吾^1,2、原史朗^1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.坂口電熱、3.産総研)

10:45 〜 11:00

〇本郷仁啓¹、原史朗^1,2,3 (1.ミニマル、2.産総研、3.Hundred Semiconductors)

11:00 〜 11:15

〇藤田龍哉¹、谷島孝²、根本一正³、居村史人¹、原史朗^1,2,3 (1.㈱Hundred Semiconductors、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)

11:15 〜 11:30

〇居村史人^1,2、松田誠宙³、若杉雄彦³、土屋忠明³、大河亮⁴、秋田純一⁴、北山侑司⁵、池田伸一²、原史朗^1,2,6 (1.Hundred Semiconductors、2.産総研、3.ロジック・リサーチ、4.金沢大学、5.横河ソリューションサービス、6.ミニマルファブ推進機構)

11:30 〜 11:45

〇浜本毅司¹、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.(株)Hundred Semiconductors)

11:45 〜 12:00

〇小粥敬成¹、田中宏幸²、居村史人³、谷島孝¹、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)