講演情報
[20a-A310-9]高速クラスターイオンビーム照射による単層グラフェン膜から放出される二次電子エネルギーの入射粒子依存性
〇(M2)宇野 鳴記1、間嶋 拓也1、斉藤 学1、土田 秀次1 (1.京大院工)
キーワード:
クラスタービーム,二次電子,単層グラフェン
高速クラスターイオンビームは、特有の照射効果があり、物質分析への応用が期待されている。生成された二次電子のエネルギーを測定することは、エネルギー付与過程の解明のために繋がる。標的膜厚による問題を解決するために、単層グラフェン膜を使用した。発表では、誘電応答関数を用いて、入射粒子によるエネルギー移行の違いから、高速クラスターイオンビーム照射による二次電子エネルギー分布を解析した結果を示す。