2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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11:30 〜 11:45

[20a-A311-8]MOVPE選択成長法によるウルツ鉱型InP薄膜成長と評価

〇東 佑樹1、鄭 子ヨウ1、本久 順一1、冨岡 克広1 (1.北海道大)
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キーワード：

MOVPE,InP

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