講演情報

[20a-B201-5]4H-SiC m面の1次元周期構造

〇(D)今村 均1、ビシコフスキー アントン1、碇 智徳2、藤澤 唯太3、岡田 佳憲3、田中 悟1 (1.九大院工、2.宇部高専、3.沖縄科技大)

キーワード:

SiC m面