[20a-B202-1~10] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[20a-B202-3] RFマグネトロンスパッタリング法を用いたSiナノワイヤーの堆積と酸化膜のLiイオン電池性能への効果

〇益本 幸泰¹、花井 稜¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、中田 智久¹、丹羽 亮斗¹、横井 玲音¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大学理工)

キーワード：

スパッタリング,Liイオン電池